VHP过氧化氢低温等离子空间灭菌器主要应用于临床的医疗材质和几何形状都符合要求的器材，只要按照要求进行使用，该灭菌柜就能恒定地达到10-6SAL的灭菌水平。过氧化氢低温等离子灭菌器既可对金属医疗器械进行低温灭菌，也可对非金属医疗器械进行低温灭菌。通过过氧化氢在舱室内扩散，然后将过氧化氢“激励”成等离子体状态，对医疗器械进行灭菌。过氧化氢蒸汽通过与等离子体结合，可对医用器械和材料安全、迅速灭菌，不留任何毒性残余。灭菌过程的各阶段都是在干燥的低温环境下运行，因此不会损坏对热或水汽敏感的器械，对金属和非金属器械都适用，并能对诸如止血钳铰链等难以到达（不易扩散）的器械部位进行灭菌。最早引入等离子灭菌技术的是美国强生公司，目前国内的生产厂家如北京凯斯普、成都老肯、山东新华等都是极具知名度的。过氧化氢等离子体是1990年代开始面世的一项新低温灭菌技术。等离子体被认为是液态、气态、固态之外的第四种状态，是气体分子在极度真空的腔体内受激发而形成的。过氧化氢等离子体灭菌，具有灭菌循环时间短，彻底分解终产物毒性低的优势。然而由于考虑到Mycobacteria tuberculosis污染的问题，美国FDA至今没有批准采用扩散增强器（diffusion enhancer）来解决过氧化氢蒸汽穿透长而窄的管腔物品困难的问题。

    优点：快速杀菌作用 H?O?易分解,没有排气时间，物品周转快最后的分解产物无毒（理论上）没有安装要求,没有通风管道

    缺点：穿透性差,有器械有严格的管腔长度,管腔大小的限制灭菌机制为氧化反应,对器械的材质有严格的限制成本昂贵灭菌时器械绝对干燥、不能上油过氧化氢的毒性、以及在等离子过程中产生的紫外线的危害不能使用等离子灭菌的物品：任何的带盲端、半盲端管腔的器械Any device with dead endlumens 由纤维材料制造的物品（如棉布，纸，纱布等）Cellulose based materials (i.e. cotton, paper, gauze) 液体Liquids 不能满足官腔长度和细度限制的器械Items that do not meet thelumen/length criteria 由纤维材料制成的器械盒Any organizing trays thatcontain cellulose based materials. 布垫Count sheets (unless Tyvek/plastic) 传统的带粘胶的标签Traditional adhesive labels(i.e. Dust Cover labels) 任何含有金属铜材质管腔或者铜合金材质（如：蒙乃尔铜-镍合金）管腔的器械；任何没有完全干燥的器材或者器械；任何的带盲端官腔的器械任何液体的灭菌；任何油剂，任何粉剂；任何液体吸收性材料或者带有液体吸收性材料的器械或者器材；任何植物性纤维材质制造的器械或者器材，如棉布，布，纸，碳，纤维，纱布，棉球类等任何含有木浆材质（纤维素）的物品；纸类的器械目录单或者日期标签；制造商不建议重复灭菌使用的一次性器械，一次性医疗用品；植入物（除非制造商明确推荐使用Sterrad®灭菌系统）；任何尼龙材料或者尼龙材料源性材料嵌合表面的物品；任何不能经受真空过程的器械或者器材，和任何标记只能使用排气式压力蒸汽灭菌器灭菌的物品；任何可能出现表面塌陷，造成相互间紧贴的器械或者器材，除非有特殊方法避免这种情况发生；任何有内部构件，如封闭性轴承，的器械或者器材；任何管腔数据在管腔限制以内的器械或者器材； 

    物品材质限制：只有物品材质符合等离子灭菌要求才能采用该灭菌方法只有得到器械生产商的认可该器械可以使用等离子灭菌。